CMP漿料
特點
. 金屬離子含量極低 單分散體系，粒徑分布均勻
.產品各批次間品質一致性高
.可自由控制粒子大小及形貌
.分散穩定，不易凝聚、沉降
.速率高，無結晶，易清先
.表面質基好，周環能力強
選型品
.藍寶石:SPS 不鏽鋼:SLPS .鋁臺金:AAPS .硅片:SSPS .砷化鎵:GAPS .硬盤:DPS
.人工體:ALPS .陶瓷:CPS
