產品描述

CMP漿料

特點

. 金屬離子含量極低 單分散體系，粒徑分布均勻

.產品各批次間品質一致性高

.可自由控制粒子大小及形貌

.分散穩定，不易凝聚、沉降

.速率高，無結晶，易清先

.表面質基好，周環能力強

選型品

.藍寶石:SPS 不鏽鋼:SLPS
.鋁臺金:AAPS
.硅片:SSPS
.砷化鎵:GAPS
.硬盤:DPS

.人工體:ALPS
.陶瓷:CPS

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