CMP浆料
特点
. 金属离子含量极低 单分散体系，粒径分布均匀
.产品各批次间品质一致性高
.可自由控制粒子大小及形貌
.分散稳定，不易凝聚、沉降
.速率高，无结晶，易清先
.表面质基好，周环能力强
选型品
.蓝宝石:SPS 不锈钢:SLPS .铝台金:AAPS .硅片:SSPS .砷化镓:GAPS .硬盘:DPS
.人工体:ALPS .陶瓷:CPS
